JEOL: Lanzamiento comercial del sistema SEM láser “LazEdge”

TOKIO--(BUSINESS WIRE)--JEOL Ltd. (presidente y director ejecutivo: Izumi Oi) ha desarrollado el “LazEdge”, un sistema de microscopía electrónica de barrido (SEM, por sus siglas en inglés) equipado con un sistema de procesamiento láser, que pondrá a la venta a partir del 25 de mayo de 2026.
Los instrumentos que se utilizan para preparar secciones transversales, como el sistema de haz de iones enfocado (sistema FIB, por sus siglas en inglés), son muy habituales en los campos de la ciencia y la tecnología en institutos de investigación, universidades e industrias. En los últimos años, está aumentando la demanda de un sistema que pueda procesar grandes áreas a alta velocidad y que logre a la vez una alta calidad de la superficie procesada. “LazEdge” es un instrumento que integra el SEM de JEOL con la tecnología láser patentada por Hamamatsu Photonics K.K., y permite el procesamiento láser dentro de la cámara de muestras del microscopio electrónico.
Este sistema permite transferir las muestras de sección transversal de alta calidad, obtenidas mediante un procesamiento de gran superficie y alta velocidad, directamente a los análisis posteriores, tales como la observación con SEM, el análisis elemental y el análisis de orientación cristalina, sin exponerlas al entorno externo. Como resultado, satisface una amplia gama de necesidades analíticas, incluyendo el análisis de muestras metálicas, el análisis de baterías que requieren aislamiento del aire y el análisis de fallas en semiconductores que requieren un corte transversal de alta velocidad.

[Características principales]

1. Corte transversal de alta calidad dentro de la cámara de muestras
   Al integrar un sistema de procesamiento láser en el SEM, LazEdge logra un corte transversal de alta calidad de áreas extensas con estructuras periódicas inducidas por láser (LIPSS, por sus siglas en inglés) reducidas a gran velocidad dentro de la cámara de muestras, gracias al uso de un sistema óptico patentado que permite la modulación de fase del rayo láser en el espacio.
2. Procesamiento estable y limpio gracias a “LazEdge Shield”
   La tecnología de blindaje patentada “LazEdge Shield” minimiza la dispersión de los residuos generados durante el procesamiento y permite tratar la muestra de manera limpia sin contaminar los detectores, las columnas ni las paredes de la cámara de muestras. Además, el sistema láser puede enfocar simultáneamente la posición de procesamiento de la muestra y la posición de irradiación del láser sobre el blindaje. Mediante esta tecnología se puede procesar y limpiar el blindaje (prevención de la contaminación) al mismo tiempo. Estas tecnologías proporcionan cortes transversales de alta calidad, manteniendo siempre una potencia estable.
3. Procesamiento y observación continuos y de alto rendimiento
   Al instalar un sistema de blindaje dentro de la cámara de muestras del SEM y realizar el procesamiento dentro de la cámara, tanto el procesamiento como la observación pueden llevarse a cabo de forma continua y con un alto rendimiento. Por ejemplo, en las mediciones de difracción de electrones por retrodispersión (EBSD, por sus siglas en inglés), el procesamiento con láser puede por sí solo producir secciones transversales con la calidad suficiente para la medición EBSD. Al repetir automáticamente el procesamiento y la medición, también se puede obtener una adquisición de EBSD en 3D.

[Objetivo de ventas] 10 unidades/año

Enlace relacionado
Información del producto: Sistema SEM láser LazEdge
https://www.jeol.com/products/scientific/sem/lazedge.php

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokio, 196-8558, Japón
Izumi Oi, presidente y director ejecutivo
(Código bursátil: 6951, Mercado Prime de la Bolsa de Tokio)
www.jeol.com

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